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    复合式净化室：复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净之空气。(1)洁净隧道：以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域覆盖使洁净度等级提高至10级以上，可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响了工作及品质，ULSI制程大都采用此种型式。洁净隧道另有二项优点：A.弹性扩充容易；B.维修设备时可在维修区轻易执行。(2)洁净管道：将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理，将洁净度等级提至100级以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔离，少量之送风即可得到良好之洁净度，可节省能源，不需人工的自动化生产线适宜使用。药品、食品业界及半导体业界均适用。(3)并装局部洁净室：将洁净室等级10,000~100,000之乱流洁净室内之产品制程区的洁净度等级提高为10~1000级以上，以为生产之用；洁净工作台、洁净棚、装配式洁净室、洁净衣柜即属此类。洁净工作台：等级Class1~100级。洁净棚：为在乱流式之洁净室空间内以防静电之透明塑料布围成一小空间，采用**之HEPA或ULPA及空调送风机组而成为一较高级之洁净空间，其等级为10~1000级，高度在，覆盖面积约10m2以下，四支支柱并加装活动轮。 洁净室安全管理制订和严格执行洁净室的安全管理制度和安全报警管理制度等。淄博专业强净化室专业设计团队

送入洁净室的空气除了有洁净度的要求之外，还有温度和湿度的要求，需要进行加热或冷却，需要加湿或除湿的处理。净化空调系统的空气处理的流程是多种多样的，设计时应该根据具体的条件进行综合分析，选择经济适用的方案。过滤器一般应用于空气净化系统的中间过滤及一般洁净的终端送风过滤。所有高效过滤器都是与初效过滤器配套使用的，高效过滤器之前应有两级过滤器。测试表明，初效过滤器极大地延长了高效过滤器的使用寿命，初中效过滤器的效率越高，就越能延长高效过滤器的使用寿命，90%效率中效过滤器可将高效过滤器的寿命延长近9倍。浙江高质量净化室专业施工团队乱流净化室靠送风气流不断稀释室内空气，把室内污染逐渐排出，达到平衡。

  影响净化室的气流因素很多， 如制程设备、 人员、 洁净室组装材、 照明器具等， 同时对于生产设备上方气流的分流点， 亦应列入考虑因素。一般操作台或生产设备等表面的气流分流点， 应设于洁净室空间与隔墙板间距 2/3 之处， 如此可使作业人员工作时， 气流可从制程区内部流向作业区， 而将微尘带走； 若分流点配置在制程区前方， 将成为不当的气流分流， 此时大部份的气流将流至制程区之后， 作业员操作所引起的尘埃将被带到设备后面， 工作台因而将受到污染， 良率也势必降低。洁净室内的工作桌等障碍物， 在相接处均会有涡流现象发生， 相对地在其附近之洁净度将会较差， 在工作桌面钻上回风孔， 将使涡流现象减少比较低； 组装材料之选择是否恰当、设备布局是否完善， 亦为气流是否成为涡流现象之重要因素。

    关于工艺布局：1、设中间产品存放区，有分区标识；2、人流、物流分开；3、不同洁净度房间设气闸室间或双层窗；4、不同洁净度房间传递物资如用传送带的话不能穿墙；5、需要清洗的器具，其清洗室洁净度与产品一致；6、洁具放置在洁具间，不应放在洁净室内。关于设备与工装：1、设备与工装应防尘，设备和工装及管道应光滑、易清洗；2、与物料接触表面应耐腐、易清洗、无反应；3、润滑剂、清洗剂、脱模剂、冷却剂不得污染产品；4、应该设置**模具间或区域；5、工位器具密封性应好，容易清洗，洁净区和一般生产区的工位器具应有区分标识；6、工艺用水应符合要求；7、仪器仪表检定、状态标识；8、设备与工装的维护、保养和验证；9、管理规定、设备档案、设备记录。 自净时间是净化室从污染状态回复到稳定状态的能力的体现，越短越好。

    层流式净化室：层流式空气气流运动成一均匀之直线形，空气由覆盖过滤器进入室内，并由高架地板或两侧隔墙板回风，此型式适用于洁净室等级需定较高之环境使用，一般其洁净室等级为Class1~100。其型式可分为二种：(1)水平层流式：水平式空气自过滤器单方向吹出，由对边墙壁之回风系统回风，尘埃随风向排出室外，一般在下侧污染较严重。优点：构造简单，运转后短时间内即可变成稳定。缺点：建造费用比乱流式高，室内空间不易扩充。(2)垂直层流式：房间天花板完全以ULPA过滤器覆盖，空气由上往下吹，可得较高之洁净度，在制程中或工作人员所产生的尘埃可快速排出室外而不会影响其它工作区域。优点：管理容易，运转开始短时间内即可达稳定状态，不易为作业状态或作业人员所影响。缺点：构造费用较高，弹性运用空间困难，天花板之吊架相当占空间，维修更换过滤器较麻烦。 单向流净化室是：气流以均匀的截面速度，沿着平行流线以单一方向在整个室截面上通过的净化室。江苏专业强净化室精确的设计/装修报价

将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理，将洁净度等级提至100级以上。淄博专业强净化室专业设计团队

混合设置：在一些项目中，大部分清洁生产区安装的净化空调装置既采用集中净化空调机房，又在特定的局部空间采用分散式净化空调装置，以满足生产工艺的需要。它具有集中和分散的特点，更经济、更灵活，满足了产品生产的要求。近年来,在大规模集成电路生产用洁净厂房中常常采用隧道式送风、集中送风和风机过滤单元（FFU）送风方式,各类机房的布置基本采用“混合设置”的方式,即新风处理机集中设置,循环空气机组分散设置。（上海天翎净化工程有限公司）淄博专业强净化室专业设计团队

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