东莞机床设备激光干涉仪

激光干涉仪的应用：1、几何精度检测可用于检测直线度、垂直度、俯仰与偏摆、平面度、平行度等。2、器的误差，而且还能通过RS232接口自动对其线性误差进行补偿，比通常的补偿方法节省了大量时间，并且避免了手工计算和手动数控键入而引起的操作者误差，同时可蕞大限度地选用被测轴上的补偿点数，使机床达到蕞佳精度，另外操作者无需具有机床参数及补偿方法的知识。3、数控转台分度精度的检测及其自动补偿现在，利用ML10激光干涉仪加上RX10转台基准还能进行回转轴的自动测量。它可对任意角度位置，以任意角度间隔进行全自动测量，其精度达±1。新的国际标准已推荐使用该项新技术。它比传统用自准直仪和多面体的方法不只节约了大量的测量时间，而且还得到完整的回转轴精度曲线，知晓其精度的每一细节，并给出按相关标准处理的统计结果。激光干涉仪是精度比较高的线性位移测量仪器，其光波可以直接对米进行定义。东莞机床设备激光干涉仪

激光干涉仪产品具有测量精度高、测量速度快、比较高测速下分辨率高、测量范围大等优点。通过与不同的光学组件结合，可以实现对直线度、垂直度、角度、平面度、平行度等多种几何精度的测量。在相关软件的配合下，还可以对数控机床进行动态性能检测，可以进行机床振动测试与分析，滚珠丝杆的动态特性分析，驱动系统的响应特性分析，导轨的动态特性分析等，具有极高的精度和效率，为机床误差修正提供依据。激光干涉仪是以光波为载体，以光波波长为单位的一种计量测试方法，是公认的高精度、高灵敏度的检测手段，在制造领域应用普遍。济南工业激光干涉仪加工生产激光干涉仪的注意事项：仪器应放置在干燥、清洁以及无振动的环境中应用。

激光干涉仪：误差影响精确度：大气折射率。激光频率稳定性：在激光干涉仪中，将激光波长作为长度基准，激光频率变化直接影响测量结果。余弦误差：在测定三坐标测量机的定位误差时，需仔细调整，使光束与滑座的运动方向平等。死程误差：在零位时，激光干涉仪两相干光的还有一段光程差，这一段光程差称为死程。死程的变化会引起测量误差，死程误差是激光干涉仪的一项重要误差。细分误差：在干涉条纹一个周期内由插细分不均匀引起的误差。

激光干涉仪的应用：数控机床动态性能检测。利用RENISHAW动态特性测量与评估软件，可用激光干涉仪进行机床振动测试与分析（FFT），滚珠丝杠的动态特性分析，伺服驱动系统的响应特性分析，导轨的动态特性（低速爬行）分析等。双轴定位精度的检测及其自动补偿雷尼绍双激光干涉仪系统可同步测量大型龙门移动式数控机床，由双伺服驱动某一轴向运动的定位精度，而且还能通过RS232接口，自动对两轴线性误差分别进行补偿。激光波长非常稳定，可以满足精密测量的要求。激光具有干涉特性。激光干涉仪系统可同步测量大型龙门移动式数控机床。

激光干涉仪有单频的和的两种。单频激光干涉仪：从激光器发出的光束，经扩束准直后由分光镜分为两路，并分别从固定反射镜和可动反射镜反射回来会合在分光镜上而产生干涉条纹。当可动反射镜移动时，干涉条纹的光强变化由接受器中的光电转换元件和电子线路等转换为电脉冲信号，经整形、放大后输入可逆计数器计算出总脉冲数，再由电子计算机按计算式[356-11]式中λ为激光波长(N为电脉冲总数)，算出可动反射镜的位移量L。使用单频激光干涉仪时，要求周围大气处于稳定状态，各种空气湍流都会引起直流电平变化而影响测量结果。激光干涉仪的应用：数控机床动态的性能检测。广东雷尼绍XL-80激光干涉仪加工生产

虽然激光干涉仪安装组件比较齐全，但在实际使用过程中还是需要另外配置一些辅助工具。东莞机床设备激光干涉仪

激光干涉仪初步调整后，它的固定分光镜并在分光镜上安装光靶，通过“整体”调整精确瞄准光靶后，取下分光镜光靶，将Z轴升高，观察激光在反光镜光靶上偏离程度，同时透过“尾部”调整使激光对准反光镜光靶，若在此过程中因“尾部”的调整导致分光镜遮挡了部分激光，则将Z轴停止上升回到起始处，重新调整“整体”，再次对准反射镜光靶。紧接着再升Z轴，继续调整“尾部”，观察激光在反光镜光靶上偏离程度。重复整个过程，往往几次即可达到准直要求。东莞机床设备激光干涉仪

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