北京NEODRY 36E干式真空泵
日本KASHIYAMA SDE120TX 技术参数&配置清单
一、 技术参数：
适合于一些比较苛刻的工艺，比如Meteal-Etch、 SA-CVD、Metal-CVD、PE-CVD、LP-CVD、ALD等
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式样 |
SDE120TX |
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ZUI大排气速度（L/min） |
1500 |
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达到压力（Pa） |
1.3 |
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电源电压 |
3相 AC200-220V |
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消费电力（KW） |
6.5KVA |
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吸气口 |
NW50 |
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排气口 |
NW40 |
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外型尺寸WHL [mm] |
280×299×550 |
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质量【kg】 |
151kg |
二、 配置清单：
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序号 |
描述 |
数量 |
备注 |
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1 |
SDE120TX主机一台，电压AC三相200V |
1 |
标配 |
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2 |
电源线 |
1 |
标配 |
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3 |
冷却水管路接头 |
1 |
标配 |
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4 |
操作手柄 |
1 |
标配 |
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5 |
产品合格证 |
1 |
标配 |
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6 |
消音器（原厂件，选配） |
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未包含 |
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7 |
入口过滤器（选配，非原厂件） |
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未包含 |
那么干式真空泵的优势都有哪些呢？北京NEODRY 36E干式真空泵
日本KASHIYAMA MU20N18X干式真空泵 技术参数&配置清单
一、 技术参数：
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式样 |
MU20N18X |
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MAX排气速度（L/min） |
30000 |
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达到压力（Pa） |
0.5 |
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电源电压 |
3相 AC200-220V |
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消费电力（KW） |
1.0KW |
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外型尺寸WHL [mm] |
1000×450×950 |
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质量【kg】 |
410kg |
二、 配置清单：
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序号 |
描述 |
数量 |
备注 |
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1 |
MU20N18X主机一台，电压AC三相200V |
1 |
标配 |
|
2 |
电源线 |
1 |
标配 |
|
3 |
冷却水管路接头 |
1 |
标配 |
|
4 |
操作手柄 |
1 |
标配 |
|
5 |
产品合格证 |
1 |
标配 |
|
6 |
消音器（原厂件，选配） |
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未包含 |
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7 |
入口过滤器（选配，非原厂件） |
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未包含 |
设备原产地：日本 常州NEODRY 60E干式真空泵代理商干式真空泵的系列有：多级罗茨干式真空泵、涡旋干式真空泵、螺杆干式真空泵、爪式干式真空泵等。
当您选择油封泵时，您应该首先了解您的真空系统是否对油污染有要求。若设备严格要求无油时，应该选各种无油泵，如：水环泵、低温泵等。如果要求不严格，可以选择有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、挡油阱、挡板等，也能达到清洁真空要求。当使用一种泵不能满足抽气及真空要求时，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足工艺要求。当选择油封真空泵时，要考虑真空泵排出来的油蒸汽（油烟）对环境的影响如何。如果环境不允许有污染，应该选无油真空泵，或者把油蒸汽排到室外。
日本KASHIYAMA MU1200X干式真空泵 技术参数&配置清单
一、 技术参数：
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式样 |
MU1200X |
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MAX排气速度（L/min） |
20000 |
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达到压力（Pa） |
0.5 |
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电源电压 |
3相 AC200-220V |
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消费电力（KW） |
0.7KW |
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外型尺寸WHL [mm] |
275×580×625 |
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质量【kg】 |
165kg |
二、 配置清单：
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序号 |
描述 |
数量 |
备注 |
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1 |
MU1200X主机一台，电压AC三相200V |
1 |
标配 |
|
2 |
电源线 |
1 |
标配 |
|
3 |
冷却水管路接头 |
1 |
标配 |
|
4 |
操作手柄 |
1 |
标配 |
|
5 |
产品合格证 |
1 |
标配 |
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6 |
消音器（原厂件，选配） |
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未包含 |
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7 |
入口过滤器（选配，非原厂件） |
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未包含 |
设备原产地：日本
浚和（上海）仪器有限公司为日本樫山工业干式真空泵中国区授权代理商。
日本KASHIYAMA MU1218X干式真空泵 技术参数&配置清单
一、 技术参数：
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式样 |
MU1218X |
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MAX排气速度（L/min） |
20000 |
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达到压力（Pa） |
0.5 |
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电源电压 |
3相 AC200-220V |
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消费电力（KW） |
O.9KW |
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外型尺寸WHL [mm] |
870×380×751 |
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质量【kg】 |
270kg |
二、 配置清单：
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序号 |
描述 |
数量 |
备注 |
|
1 |
MU1218X主机一台，电压AC三相200V |
1 |
标配 |
|
2 |
电源线 |
1 |
标配 |
|
3 |
冷却水管路接头 |
1 |
标配 |
|
4 |
操作手柄 |
1 |
标配 |
|
5 |
产品合格证 |
1 |
标配 |
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6 |
消音器（原厂件，选配） |
|
未包含 |
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7 |
入口过滤器（选配，非原厂件） |
|
未包含 |
设备原产地：日本 干式真空泵的优点有很多。上海SDE1220干式真空泵维修点
浚和（上海）仪器有限公司主营干式真空泵。北京NEODRY 36E干式真空泵
但是由于干式真空泵运行时内部存在苛刻的热条件，所以使用上述耐腐蚀材料来处理腐蚀性介质对无油干式真空泵是不适合的。此外使用铁剂金属高镀镍涂层材质，一旦出现细微的裂纹就会导致材料产生迅速的电化学腐蚀。那么是不是只要特殊设计能可靠地控制温度的设备把腐蚀性介质保持在气相状态，没有离子形式存在是不是就不存在腐蚀了？答案是肯定的。该泵应用其自身先进的冷却系统，可以调整泵腔内及转子的温度，使之没有离子形式存在，全都气化，从而避免腐蚀。所以此螺杆干式真空泵转子采用不锈钢，不做任何涂层，降低了成本，增加了安全性能。 北京NEODRY 36E干式真空泵