成都樫山干式真空泵现货

时间:2022年05月13日 来源:

日本KASHIYAMASDE303X干式真空泵技术参数&配置清单

一、技术参数:

式样

SDE303X

MAX排气速度(L/min)

5000

达到压力(Pa)

0.5

电源电压

3相  AC200-220V,380-480V

消费电力(KW)

1.5KW

外型尺寸WHL [mm]

400×905×760


二、 配置清单:

序号

描述

数量

备注

1

SDE303X主机一台

1

标配

2

电源线

1

标配

3

冷却水管路接头

1

标配

4

操作手柄

1

标配

5

产品合格证

1

标配

6

消音器(原厂件,选配)


未包含

7

入口过滤器(选配,非原厂件)


未包含


设备原产地:日本

日本KASHIYAMA真空泵特性:1、设备运转时,旋叶与旋叶、旋叶与腔壁之间没有任何摩擦,保证设备长期正常工作。2、采用空冷式方式,不需配置冷却水,从而节省空间。3、采用气镇(GasBallast)结构,可以排出所吸取的水蒸气。4、若只抽取空气与氮气的情况下,只需三年维护一次,延长了设备的使用寿命,降低真空泵的使用成本。
4 半导体、液晶行业用干式真空泵-KASHIYAMA.成都樫山干式真空泵现货

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干式真空泵与油泵的性能比较


项   目

NeoDry Series

干式真空泵

油  泵

特  征

不使用液体密封泵腔,可以得到干净的真空。

使用油密封得不到干净的真空。

排气时会在排气口产生油雾。

根据使用情况,密封用油中会混入水蒸  气·溶剂使油质变差影响性能。

泵的周围会因油雾污染环境。

维护性

基本上免维护

因油劣化产生定期油的更换维护很烦杂。

  (根据使用情况,需要频繁更换)

维护成本

洁净排气时维护周期可为3年一次。    长期运行可降低维护成本。

更换部件很少,O / H费用便宜。

抽气部分无物理接触,无因磨损更  换部件。

油需定期更换产生费用。

  (使用氟油的情况费用较高)

需要更换叶片及阀门。

  (因叶片为接触式)

初始投资成本

与油泵相比相对较高。

与干泵相比较便宜。

配套设备费用

不需要油雾凝气阀

需要油雾凝气阀。

需要油盘。


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干式真空泵的应用范围比较广,主要有以下几个方面:

1)低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中;

2)半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒;

3)除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求;

4)在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等,要防止有机溶剂造成污染,适合用干式真空泵;

5)用做一般无油清洁真空系统的前级泵,以防止油污染。



干式螺杆真空泵选型


       干式螺杆真空泵在其工作压力下,应能排走真空泵设备工艺过程中产生的全部气体量。

每种泵都有一定的工作压力范围,因而,泵的工作点应该选择在这个范围之内,而不能让它在允许工作压力以外长时间工作。

       干式螺杆真空泵的极限压力应该满足该工艺的工作压力。通常选择泵的极限压力低于工艺要求约一个数量级。


选择真空机组:

       了解被抽气体成分,气体中含不含可凝蒸汽,有无颗粒灰尘、有无腐蚀性等。选择干式螺杆真空泵时,需要知道气体成分,针对被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸汽、颗粒、及腐蚀性气体,应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备,如冷凝器、除尘器等。

       干式螺杆真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响,若工艺过程不允许,应选择无振动的泵或者采取防振动措施。



浚和(上海)仪器有限公司就带您了解一下干式真空泵的特点。

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日本KASHIYAMA SDE60N20干式真空泵 技术参数&配置清单


一、 技术参数:


式样:SDE60N20

MAX排气速度(L/min):100000

达到压力(Pa):0.5

电源电压:3相  AC200-220V,380-480V

消费电力(KW):3.7KW

外型尺寸WHL [mm]:515×950×1080


二、 配置清单:

序号

描述

数量

备注

1

SDE60N20主机一台

1

标配

2

电源线

1

标配

3

冷却水管路接头

1

标配

4

操作手柄

1

标配

5

产品合格证

1

标配

6

消音器(原厂件,选配)

未包含

7

入口过滤器(选配,非原厂件)

未包含


设备原产地:日本

日本KASHIYAMA真空泵特性:

1、设备运转时,旋叶与旋叶、旋叶与腔壁之间没有任何摩擦,保证设备长期正常工作。

2、采用空冷式方式,不需配置冷却水,从而节省空间。

3、采用气镇(Gas Ballast)结构,可以排出所吸取的水蒸气。

4、若只抽取空气与氮气的情况下,只需三年维护一次,延长了设备的使用寿命,降低真空泵的使用成本。


干式真空泵的优点有很多。成都樫山干式真空泵现货

干式真空泵的主要优势是。成都樫山干式真空泵现货

KASHIYAMA Neodry7E真空泵技术参数


        产品介绍:KASHIYAMA为客户降低真空泵使用成本付出长期不懈的努力,NeoDry Series小型空冷多级干式罗茨真空泵由此诞生。所抽气体为洁净空气或氮气时,维护周期长达三年。广泛应用于电子半导体、锂电池、医药生物、化学材料等领域。


主要参数:


1.  采用空冷式设计降温

2.  转子与内腔非接触式物理构造设计

3.  *Zui大排气速度110L/min

4.  极限真空泵5Pa(气镇阀关闭状态)

5.  选配气镇阀后,可排出水与有机溶液,Zui大水份处理量120g/hour

6.  *远程或联动输出端子

7.  电动机功率:0.4kW

8.  噪音小于65dB(A)

9.  吸气口径:NW25 排气口径:NW25

10. 重量 20KG

11. 电源电压 单相AC220V

12. 外尺寸:196W x 360L x 219Hmm


基本配置:

1.  主机 一台

2.  选程起动端子 一个

3.  电源线 1.5m 一根

4.  说明书 一本



成都樫山干式真空泵现货

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