韶关激光干涉仪检测

时间:2022年08月08日 来源:

激光干涉仪,以激光波长为已知长度,利用迈克耳逊干涉系统测量位移的通用长度测量。激光具有高的强度、高度方向性、空间同调性、窄带宽和高度单色性等优点。目前常用来测量长度的干涉仪,主要是以迈克尔逊干涉仪为主,并以稳频氦氖激光为光源,构成一个具有干涉作用的测量系统。激光干涉仪可配合各种折射镜、反射镜等来作线性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等测量工作,并可作为精密工具机或测量仪器的校正工作。英文名称:laser interferometer100pm/步的线性偏移被确定。韶关激光干涉仪检测

激光干涉仪

一次绕组可调,二次多绕组电流互感器。这种电流互感器的特点是变比量程多,而且可以变更,多见于高压电流互感器。其一次绕组分为两段,分别穿过互感器的铁心,二次绕组分为两个带抽头的、不同准确度等级的独自绕组。一次绕组与装置在互感器外侧的连接片连接,通过变更连接片的位置,使一次绕组形成串联或并联接线,从而改变一次绕组的匝数,以获得不同的变比。带抽头的二次绕组自身分为两个不同变比和不同准确度等级的绕组,随着一次绕组连接片位置的变更,一次绕组匝数相应改变,其变比也随之改变,这样就形成了多量程的变比。平台校准激光干涉仪检测用于校准机床,例如 快速运行的主轴。

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按一次绕组对地运行状态分

一次绕组接地的电压互感器:单相电压互感器一次绕组的末端或三相电压互感器一次绕组的中性点直接接地;一次绕组不接地的电压互感器:单相电压互感器一次绕组两端子对地都是绝缘的;三相电压互感器一次绕组的各部分,包括接线端子对地都是绝缘的,而且绝缘水平与额定绝缘水平一致。

按磁路结构分

单级式电压互感器:一次绕组和二次绕组(根据需要可设多个二次绕组同绕在一个铁芯上,铁芯为地电位。我国在及以下电压等级均用单级式;串级式电压互感器:一次绕组分成几个匝数相同的单元串接在相与地之间,每一单元有各自独自的铁芯,具有多个铁芯,且铁芯带有高电压,二次绕组(根据需要可设多个二次绕组处在较为末一个与地连接的单元。我国在电压等级常用此种结构型式;组合式互感器:由电压互感器和电流互感器组合并形成一体的互感器称为组合式互感器,也有把与组合电器配套生产的互感器称为组合式互感器。

干涉仪技术参数:5D/6D标准型:1.线性:0.5ppm.2.测量范围:40米(1D可选80米)3.线性分辨力:0.001um.4.偏摆角和俯仰角的精度:(1.0+0.1/m)角秒或1%显示较大值5.比较大范围:800角秒6.滚动角精度:1.0角秒7.直线度精度:(1.0+0.2/m)um或1%显示较大值8.直线度比较大范围:500um9.垂直度精度:1角秒10.温度精度:0.2摄氏度11.湿度精度:5%12.压力精度:1mmHg

从激光器发出的光束,经扩束准直后由分光镜分为两路,并分别从固定反射镜和可动反射镜反射回来会合在分光镜上而产生干涉条纹。 分析电动机在不同转速下的振动。

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频率影响

1 当频率自额定值偏离±10%(但对相位表和功率因数表为±2%,对单相无功功率表为±5%)时,由此所引起的仪表指示值的改变应不超过表7 中的规定值。如果在仪表上注明额定频率范围,则在此范围内的任一频率下,仪表的基本误差都应不超过规定值。如果在仪表上除注明额定频率外,还注明有扩大的频率范围时,则在此范围内的任一频率下,仪表的基本误差应不超过表7 中规定值的两倍。仪表辅助电路的电源,当其频率自额定值偏离±2%时,由此引起的仪表指示值的改变,应不超过表7 规定值的一半。

2 检验频率的影响时,应遵守有关规定(对频率的规定除外),且应除去变差影响。试验是在标度尺的几何中心附近和上量限附近的两点分度线上进行。相位表在额定电流下进行,功率表在额定功率因数下进行。 LineCAL可实现亚微米精度的空间补偿。粗糙度激光干涉仪平面度测量

低电子噪声和良好的光学稳定性。韶关激光干涉仪检测

阻尼时间

1 热电系、热线系及静电系仪表,吊丝式仪表和指针长度大于150MM 的仪表,其可动部分的阻尼时间应不超过6S。其余的仪表应不超过4S。当被测量突然改变时,仪表指示器的前列次偏转值与稳定后的偏转值之比应不大于1.5。凡外电路电阻有规定范围时,当电阻在这个范围内变动时,其阻尼时间均应满足要求。

2 测定仪表指示器的阻尼时间时,应遵守规定。测定阻尼时间时,应自被测之量开始改变(或放回指示器)时起,至指示器离结尾静止位置不大于标度尺长度1%时止。在测定阻尼时间的同时,读取指示器前列次偏转值与稳定后的偏转值,然后求出其比值。测定阻尼时间的具体规定如下:A.单向标度尺仪表——自接入被测量至指示器偏转至标度尺几何中心附近时测定;B.双向对称标度尺仪表——自断开相当于标度尺最大值的被测量时测定;C.双向非对称标度尺仪表——自断开或接通相当于标度尺全长一半的被测量时测定;D.比率表和无机械零位标度尺仪表——自改变被测量使指示器由始点移至标度尺几何中心附近时测定。也允许接入约相当于标度尺几何中心的被测量,再将指示器用机械方法移至标度尺的始点或终点,然后放回指示器的方法测定。测定阻尼时间时应测三次,取其平均值。 韶关激光干涉仪检测

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